高纯度石英砂在化学成分、粒度分布、物理性质等方面有特殊要求,具体如下:
化学成分
二氧化硅(SiO?)纯度:
半导体行业:通常要求SiO?纯度达到99.998%(4N8)以上,甚至更高(如5N、6N)。
光伏行业:用于制造太阳能硅晶铸锭用石英陶瓷坩埚的石英砂,SiO?纯度也需达到99.998%以上。
光纤通信行业:生产光纤预制棒的石英砂,SiO?纯度同样要求高,以确保光纤的传输损耗低。
杂质含量:
金属杂质:如铁(Fe)、铝(Al)、钠(Na)、钾(K)、锂(Li)等金属离子的含量需控制在极低水平。例如,Fe?O?含量通常要求小于1ppm,Al?O?含量也要求极低。
过渡金属:如铜(Cu)、铬(Cr)、镍(Ni)等,要求小于0.05ppm,以避免成为电荷复合中心,降低少数载流子寿命。
放射性元素:如铀(U)、钍(Th)需小于0.01ppb,以防止其衰变产生的α粒子导致半导体器件发生软错误。
羟基(OH?):含量需极低(小于5ppm),高温下羟基会形成气泡并影响高温粘度。
粒度分布
粒度范围根据具体用途而定,常用的目数有160目、200目和325目等。
在一些高端应用中,如半导体制造,可能需要更细的粒度,甚至达到数千目。
粒度分布需较为集中,且可以根据需要进行筛分和调整。
物理性质
气液包裹体:要求极少,因为其可能会影响石英制品的性能。例如,在石英坩埚应用中,气液包裹体会对拉晶过程产生不良影响。
比表面积:一般要求比表面积在一定范围内,以满足不同工艺的需求。例如,在某些催化或吸附应用中,合适的比表面积有助于提高反应效率或吸附能力。
透明度与气泡:对于用于光学等领域的超高纯石英砂,要求具有高透明度,且气泡数量少。
耐高温性与抗腐蚀性:必须能承受高温(如1600°C以上)且具有极高的抗等离子体侵蚀能力,以延长腔体部件寿命。
热稳定性:优异的抗热震性,能经受从高温到室温的急剧温度变化而不破裂。例如,某些应用要求能经受从1300°C高温到室温的急剧温度变化超过50次而不破裂。
外观与颜色
超高纯石英砂通常为白色或略带透明度的颗粒,无异色和肉眼可见的杂质。
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